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heidenhain海德漢敞開式光柵尺的詳細(xì)資料:
heidenhain海德漢敞開式光柵尺型號:LIC4113、LIC4193、LIC4115、LIC4195、LIC4117、LIC4197、LIC4119、LIC4199、LIC2117、LIC2197、LIC2119、LIC2199、LIP300、LIP200、LIP6000、LIF400、LIDA473、LIDA483、LIDA475、LIDA485、LIDA487、LIDA477、LIDA479、LIDA489、LIDA277、LIDA287、LIDA279、LIDA289、PP281、LIP481V、LIP481U、LIF471V、LIF481V、LIC4113V、LIC4193V開放式光柵尺磁柵尺電子尺數(shù)顯尺增量式光柵尺計數(shù)尺ABS光柵尺傳感器等型號ID價格維修安裝等服務(wù)。
購買或者維修編碼器、光柵尺、長度計、讀數(shù)頭、數(shù)顯表、測頭、驅(qū)動等需提供的內(nèi)容:
1、需要提供產(chǎn)品的型號和ID
2、維修需要提供產(chǎn)品的故障內(nèi)容或者報警代碼
3、有貨的情況24銷售發(fā)貨,沒貨訂貨周期6個月,維修周期2-8天
4、新產(chǎn)品質(zhì)保12個月,維修后的產(chǎn)品質(zhì)保3個月
heidenhain海德漢敞開式光柵尺技術(shù)參數(shù):
長度測量
封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液,是用于機(jī)床好的選擇。
敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機(jī)械接觸。這些光柵尺的典型應(yīng)用包括:測量機(jī)、比較儀和其它長度計量精密設(shè)備以及生產(chǎn)和測量設(shè)備,例如用在半導(dǎo)體工業(yè)中、三坐標(biāo)測量機(jī)、影像測量儀、投影儀、印刷機(jī)等
增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點(diǎn)開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點(diǎn),開機(jī)時執(zhí)行參考點(diǎn)回零,操作非常簡單、快捷。
Absolute式光柵尺無需執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的Absolute位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。
敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計用于對測量精度要求高的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
高精度機(jī)床
高精度儀器
測量機(jī)和比較儀,測量顯微鏡和其它測量設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)
Absolute式編碼器
系列 | 說明 |
---|---|
LIC | LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動進(jìn)行ABS位置測量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。 |
輸出位置值的編碼器
系列 | 說明 |
---|---|
LIP 200 | LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計數(shù)功能將細(xì)分的信號轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣,借助參考點(diǎn)確定絕對原點(diǎn)。 |
增量式編碼器
系列 | 說明 |
---|---|
LIP | 高精度 LIP敞開式直線光柵尺擁有小的測量步距,高的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描,測量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。 |
LIF | 高精度 LIF敞開式直線光柵尺的測量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵,采用干涉掃描方法。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高,安裝特別簡單,有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中(參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息")。 |
LIDA | 高速運(yùn)動和大測量長度 LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝特別簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。 |
PP | 二維坐標(biāo)測量 PP二維編碼器的測量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵,采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。 |
LIP/LIF | 高真空和高真空技術(shù) 我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息,參見“真空中應(yīng)用的直線光柵尺"產(chǎn)品信息。 以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。 • 高真空:LIP 481 V和LIF 481 V |
海德漢敞開式直線光柵尺的全新信號處理ASIC芯片
海德漢敞開式直線光柵尺是高精度定位或高精度運(yùn)動的選擇。為確保光柵尺在整個生命周期中都滿足高精度要求,海德漢新開發(fā)了全新ASIC信號處理芯片:HSP 1.0。有關(guān)該芯片如何接近補(bǔ)償信號變化和恢復(fù)初始的信號質(zhì)量,請看視頻。
LIC 4100
型號 | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
---|---|---|---|---|---|
精度等級 | 局部 | ||||
LIC 4113 LIC 4193 | ± 3 μm ± 5 μm | ≤ ± 0.275 μm/ 10 mm | 玻璃或玻璃陶瓷光柵尺,嵌入在安裝面中 | ± 20 nm | 240 mm 至3040 mm |
LIC 4115 LIC 4195 | ± 5 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊 | ± 20 nm | 140 mm 至 28440 mm |
LIC 4117 LIC 4197 | ± 3 μm ± 5 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 20 nm | 240 mm 至 6040 mm |
LIC 4119 LIC 4199 | ± 3 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 20 nm | 70 mm 至 1020 mm |
LIC 4119 FS | ± 3 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 20 nm | 70 mm 至 1820 mm |
LIC 2100
型號 | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
---|---|---|---|---|---|
精度等級 | 局部 | ||||
LIC 2117 LIC 2197 | ± 15 μm | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm | |
LIC 2119 LIC 2199 | ± 15 μm | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm |
LIP series for very high accuracy
Exposed linear encoders consist of a measuring standard and a scanning head. Please select these two components from the lists. .
Model | Accuracy grade | Substrate and mounting | Interpolation error | Measuring length |
---|---|---|---|---|
LIP 300 | ± 0.5 μm | Zerodur glass ceramic embedded in bolted-on Invar carrier | ± 0.01 nm | 70 mm to 270 mm |
Product variants | ||||
LIP 200 | ± 1 μm ± 3 μm | Scale of Zerodur glass ceramic with fixing clamps | ± 1 nm | 20 mm to 3040 mm |
Measuring standard | Scanning head | |||
LIP 6000 | ±1 μm (< 1020 mm) ±3 μm | Scale of Zerodur glass ceramic, by adhesive or fixing clamps | ± 4 nm | 20 mm to 3040 mm |
LIF series for high accuracy
Exposed linear encoders consist of a measuring standard and a scanning head. Please select these two components from the lists. .
Scale tape | Scanning head |
Model | Basline error | Substrate and mounting | Interpolation error | Measuring length | |
---|---|---|---|---|---|
Accuracy grade | Intervall | ||||
LIF 400 | ± 1 μm ± 3 μm | ≤ ± 0.225 μm/ 5 mm | Scale of Zerodur glass ceramic or glass, bonded with PRECIMET adhesive film | ± 12 nm | 70 mm to 1640 mm |
LIDA 400 series for high traversing speeds and large measuring lengths
Exposed linear encoders consist of a measuring standard and a scanning head. Please select these two components from the lists. .
Scale tape | Scanning head |
Model | Baseline error | Substrate and mounting | Interpolation error | Measuring length | |
---|---|---|---|---|---|
Accuracy grade | Intervall | ||||
LIDA 473 LIDA 483 | ± 1 μm ± 3 μm ± 5 μm | ≤ ± 0.275 μm/ 10 mm | Glass or glass ceramic scale, bonded to the mounting surface | ± 45 nm | 240 mm to 3040 mm |
LIDA 475 LIDA 485 | ± 5 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | Steel scale tape drawn into aluminum extrusions and tensioned | ± 45 nm | 140 mm to 30040 mm |
LIDA 477 LIDA 487 | ± 3 μm ± 5 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | Steel scale tape drawn into aluminum extrusions and fixed | ± 45 nm | 240 mm to 6040 mm |
LIDA 479 LIDA 489 | ± 3 μm ± 15 μm | ≤ ± 0,750 μm/ 50 mm (typ.) | Steel scale tape, bonded to the mounting surface | ± 45 nm | Up to 6000 mm |
LIDA 200 series for high traversing speeds and large measuring lengths
Exposed linear encoders consist of a measuring standard and a scanning head. Please select these two components from the lists. .
Scale tape | Scanning head |
Model | Baseline error | Substrate and mounting | Interpolation error | Measuring length | |
---|---|---|---|---|---|
Accuracy grade | Intervall | ||||
LIDA 277 LIDA 287 | ± 15 μm | Steel scale tape drawn into aluminum extrusions and fixed | ± 2 μm | Up to 10000 mm | |
LIDA 279 LIDA 289 | ± 15 μm | Steel scale tape, cemented on mounting surface | ± 2 μm | Up to 10000 mm |
PP series for two-coordinate measurement
Model | Accuracy grade | Substrate and mounting | Interpolations error | Measuring length |
---|---|---|---|---|
PP 281 | ± 2 μm | Glass grid plate, with full-surface bonding | ± 12 nm | Measuring range 68x68mm |
LIP/LIF series for application in high and ultrahigh vacuum technology
Typ | Basline error | Substrate and mounting | Interpolation error | Measuring length | |
---|---|---|---|---|---|
Accuracy grade | Interval | ||||
LIP 481V LIP 481U | ± 0.5 μm ± 1 μm | ≤ ± 0.175 μm/ 5 mm | Scale of Zerodur glass ceramic or glass with fixing clamps | ± 7 nm | 70 mm to 420 mm |
LIF 471V LIF 481V | ± 3 μm | ≤ ± 0.225 μm/ 5 mm | ± 12 nm | 70 mm to 1640 mm | |
LIC 4113 V LIC 4193 V | ±1 µm (only for Robax glass ceramic), ±3 µm, ±5 µm | ≤ ±0.275 µm/10 mm | METALLUR scale grating on glass ceramic or glass | ± 20 nm | 240 mm to 3040 mm |
HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺技術(shù)參數(shù):
技術(shù)指標(biāo) | LIP 382 |
測量標(biāo)準(zhǔn) | Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光柵;光柵周期0.512微米 |
線性膨脹系數(shù) | α THERM =(0±0.1)×10 -6 ? -1 |
精度等級 | ±0.5 µm(可根據(jù)要求提供更高的精度等級) |
基線錯誤 | ≤ ±0.075 µm / 5毫米 |
測量長度ML * ,單位mm | 70 120 150 170 220 270 |
參考標(biāo)記 | 沒有 |
接口 | 1 V PP |
綜合插補(bǔ) | – |
信號周期 | 0.128微米 |
截止頻率–3 dB | ≥1兆赫 |
掃描頻率* | – |
邊緣分離a | |
移動速度 | ≤ 7.6米/分鐘 |
插補(bǔ)誤差 | ±0.01納米 |
位置噪聲RMS | 0.06 nm(1 MHz 1)) |
激光 | 掃描頭和天平安裝: 1級 |
未安裝掃描頭: 3B級 | |
使用的激光二極管: 3B級 | |
電氣連接 | 0.5 m電纜至接口電子設(shè)備(APE), |
可連接至APE的單獨(dú)適配器電纜(1 m / 3 m / 6 m / 9 m) | |
電纜長度 | 參見接口說明,但≤30 m(使用海德漢電纜) |
電源 | 直流5 V±0.25 V |
振動55 Hz至2000 Hz | ≤4 m / s 2(EN 60068-2-6) |
震動11毫秒 | ≤50 m / s 2(EN 60068-2-27) |
工作溫度 | 0°C至40°C |
質(zhì)譜 掃描頭 | 150克 |
接口電子 | 100克 |
線性刻度 | ML70毫米: 260克,ML ≥ 150毫米: 700克 |
連接線 | 38克/平方米 |
* 訂購時請選擇 | |
1) 后續(xù)電子設(shè)備的–3 dB截止頻率 |
工作原理:
LIP 382、LIP 372、LIP 481、LIP 471、LIP 580、LIP 571、LIF 481、LIF 471、LIDA 483、LIDA 473、LIDA 485、LIDA 475、LIDA 487、LIDA 477、LIDA 287、LIDA277、LDIA 289、LIDA 279、LIDA 583、LIDA 573、PP 281R、PP 271R LC4000、LC100、LIF481、LF183、LS400、LS100、LB382 、LIP372 LIP382 LIP471 LIP481 LIP571 LIP581 LIF471 LIF481 LIDA171 LIDA181 LIDA 475 LIDA485 LIDA477 LIDA487 PP271 PP281德國海德漢HEIDENHAIN敞開式光柵尺傳感器
德國Heidenhain主要產(chǎn)品有:
Heidenhain長度計,Heidenhain直線光柵尺,Heidenhain編碼器,Heidenhain旋轉(zhuǎn)編碼器,Heidenhain角度編碼器,Heidenhain光柵尺,Heidenhain讀數(shù)頭,HeidenhainCNC控制器,海德漢編碼器,海德漢長度計,海德漢光柵尺、
Absolute式光柵尺、增量式光柵尺、數(shù)控光柵尺、
HEIDENHAIN產(chǎn)品介紹
HEIDENHAIN公司研發(fā)和生產(chǎn)高質(zhì)量直線光柵尺和角度HEIDENHAIN編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。HEIDENHAIN公司的產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于高精度機(jī)床、電子元件的生產(chǎn)和加工設(shè)備、自動化機(jī)器系統(tǒng),尤其是應(yīng)用于半導(dǎo)體和電子制造業(yè)等領(lǐng)域。
隨著現(xiàn)代加工業(yè)的迅速發(fā)展,數(shù)控機(jī)床的應(yīng)用越來越廣,同時對數(shù)控機(jī)床定位精度也提高,高精度滾珠絲杠式的半閉環(huán)控制系統(tǒng)已很難滿足用戶的需求?;诎腴]環(huán)控制系統(tǒng)的數(shù)控機(jī)床具有明顯的缺點(diǎn): 無法控制機(jī)床傳動機(jī)構(gòu)所產(chǎn)生的傳動誤差、高速運(yùn)轉(zhuǎn)時傳動機(jī)構(gòu)所產(chǎn)生熱變形誤差,以及加工過程中因傳動系統(tǒng)磨損而產(chǎn)生的誤差,而這些誤差已經(jīng)嚴(yán)重影響到數(shù)控機(jī)床的加工精度及其穩(wěn)定性。直線光柵尺對數(shù)控機(jī)床各線性坐標(biāo)軸進(jìn)行全閉環(huán)控制,消除上述誤差,提高機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度以及精度可靠性,作為提高數(shù)控機(jī)床位置精度的關(guān)鍵部件正日益受到用戶的青睞。
常見故障及維修網(wǎng)點(diǎn):
1、“軟斷線"報警。
2、移動機(jī)床某軸時發(fā)生“跟隨誤差過大"報警。
3、機(jī)床某軸移動時機(jī)床震動比較厲害數(shù)據(jù)不平穩(wěn)。
4、光柵尺找不到原點(diǎn)(也稱零點(diǎn)或參考點(diǎn))。
5、在使用過程中產(chǎn)生25000異常報警。
6、機(jī)床某軸光柵尺在測量過程中數(shù)據(jù)丟失或計數(shù)不準(zhǔn)。
7、開機(jī)后,出現(xiàn)某軸正反方向運(yùn)動正常,但機(jī)床無法進(jìn)行回參考點(diǎn)。
8、機(jī)床出現(xiàn)某軸緩慢向正方向運(yùn)動,系統(tǒng)無報警。
9、某軸在回參考點(diǎn)不準(zhǔn)的現(xiàn)象,但是使用半閉環(huán)回參考點(diǎn)*。
10、光柵尺出現(xiàn)“445"報警。
11、當(dāng)某軸執(zhí)行返參考點(diǎn)指令時,出現(xiàn)1160報警。
、、、、、、
蘇州澤升有完備的海德漢檢測設(shè)備,儀器及工裝夾具,可檢測海德漢系列產(chǎn)品,并且定期將檢測設(shè)備送往德國標(biāo)定,以檢測設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定、可靠,同時還擁有兩套海德漢數(shù)控系統(tǒng)實驗臺,以提供維修實驗及模擬運(yùn)行環(huán)境。
獨(dú)立而干凈的維修間,完備而齊全的維修設(shè)備,可靠而的檢測儀器,是我們?yōu)榭蛻籼峁┖糜挚斓姆?wù)。
安裝指導(dǎo)
光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活,可安裝在機(jī)床的不同部位。
將主尺安裝在機(jī)床的工作臺(滑板)上,隨機(jī)床走刀而動,讀數(shù)頭固定在床身上,盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時,則必須增加輔助密封裝置。另外,*般情況下,讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對機(jī)床靜止部件上,此時輸出導(dǎo)線不移動易固定,而尺身則應(yīng)安裝在相對機(jī)床運(yùn)動的部件上(如滑板)。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時,不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機(jī)床身上,更不能安裝在打底涂漆的機(jī)床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機(jī)床相對運(yùn)動的兩個部件上。用千分表檢查機(jī)床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運(yùn)動的方向平行度。千分表固定在床身上,移動工作臺,要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個要求,則需設(shè)計加工*件光柵尺基座。
基座要求做到:(1)應(yīng)加*根與光柵尺尺身長度相等的基座(基座長出光柵尺50mm左右)。(2)該基座通過銑、磨工序加工,其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外,還需加工*件與尺身基座等*的讀數(shù)頭基座。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm。安裝時,調(diào)整讀數(shù)頭位置,達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。
2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機(jī)床安裝的工作臺安裝面上,但不要上緊,把千分表固定在床身上,移動工作臺(主尺與工作臺同時移動)。用千分表測量主尺平面與機(jī)床導(dǎo)軌運(yùn)動方向的平行度,調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置,使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時,把M2螺釘上緊。
在安裝光柵主尺時,應(yīng)注意如下三點(diǎn):
(1) 在裝主尺時,如安裝超過1.5M以上的光柵時,不能象橋梁式只安裝兩端頭,尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后,用*個卡子卡住尺身中點(diǎn)(或幾點(diǎn))。(3)不能安裝卡子時,用玻璃膠粘住光柵尺身,使基尺與主尺固定好。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時,*先應(yīng)讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求,然后再安裝讀數(shù)頭,其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭,使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度在0.1mm之內(nèi),其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后,*定要在機(jī)床導(dǎo)軌上安裝限位裝置,以免機(jī)床加工產(chǎn)品移動時讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端,從而損壞光柵尺。另外,用戶在選購光柵線位移傳感器時,應(yīng)盡量選用超出機(jī)床加工尺寸100mm左右的光柵尺,以留有余量。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后,可接通數(shù)顯表,移動工作臺,觀察數(shù)顯表計數(shù)是否正常。
在機(jī)床上選取*個參考位置,來回移動工作點(diǎn)至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同(或回零)。另外也可使用千分表(或百分表),使千分表與數(shù)顯表同時調(diào)至零(或記憶起始數(shù)據(jù)),往返多次后回到初始位置,觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*。
通過以上工作,光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于*般的機(jī)床加工環(huán)境來講,鐵屑、切削液及油污較多。因此,傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩,護(hù)罩的設(shè)計是按照傳感器的外形截面放大留*定的空間尺寸確定,護(hù)罩通常采用橡皮密封,使其具備*定的防水防油能力。
安裝案例:
使用注意事項
(1)光柵尺傳感器與數(shù)顯表插頭座插拔時應(yīng)關(guān)閉電源后進(jìn)行。
(2)盡可能外加保護(hù)罩,并及時清理濺落在尺上的切屑和油液,嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入光柵尺傳感器殼體內(nèi)部。
(3)定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動。
(4)為延長防塵密封條的壽命,可在密封條上均勻涂上*薄層硅油,注意勿濺落在玻璃光柵刻劃面上。
(5) 為光柵尺傳感器使用的可靠性,可每隔*定時間用清洗擦拭光柵尺面及指示光柵面,保持玻璃光柵尺面清潔。
(6) 光柵尺傳感器嚴(yán)禁劇烈震動及摔打,以免破壞光柵尺,如光柵尺斷裂,光柵尺傳感器即失效了。
(7) 不要自行拆開光柵尺傳感器,更不能任意改動主柵尺與副柵尺的相對間距,否則*方面可能破壞光柵尺傳感器的*度;另*方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦,損壞鉻層也就損壞了柵線,以而造成光柵尺報廢。
(8) 應(yīng)注意防止油污及水污染光柵尺面,以免破壞光柵尺線條紋分布,引起測量誤差。
(9) 光柵尺傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作,以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面,破壞光柵尺質(zhì)量。
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